Das Projekt Green Epitaxy hat als Ziel die Erforschung der Niedertemperaturepitaxie (NTE) als Basis für eine ressourcenschonende Halbleiterproduktion und Wegbereiter für energieeffiziente Konsumgüter.
Der Verbund besteht aus der ELEMENT 3-5 GmbH (Koordinator), dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT sowie der NMWP Management GmbH.
Die ELEMENT 3-5 GmbH ist Erfinder der NTE und erforscht im Vorhaben neue Materialsysteme. Das Fraunhofer IPT entwickelt Automatisierungsansätze und Methoden zur Substratstrukturierung. Die NMWP Management GmbH konzentriert sich auf Technikfolgenabschätzung und evaluiert Potenziale für Folgeindustrien und deren Ansiedlung.
Das Projektvolumen beträgt Euro 21,5 Mio. bei einer Laufzeit von 3 Jahren.
Die Arbeiten wurden im Rahmen des Vorhabens 03EN4085A-C durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) gefördert.
